高精度マイクロメータは、測定範囲がミクロンまたはミリメートルで、測定精度がナノメートルレベルである計測器で、インダクタンス、静電容量、レーザーに分類できます。主に、航空宇宙、航空、自動車、工作機械、光学デバイス処理、半導体などの産業計測および制御分野で、高精度の長さ（深さ、高さ、厚さ、直径、テーパー）測定、振動測定、微小変位検出などに使用されます。
CoreMorrow の小容量超高精度静電容量センサーは、コンデンサプローブとコントロールボックスの 2 つの部分で構成されています。静電容量プローブは非接触で、サイズは Φ10mm×18.5mm です。静電容量プローブは、最大 1.25nm の解像度で 0～500μm の範囲の微小変位を測定できます。コントロールボックスのサイズはわずか 105×26×66mm^3 で、シングルチャネル出力です。体積が非常に小さく、統合しやすいです（下図を参照）。
特徴
· 測定範囲 0～500 μm
· 最大 1.25nm の解像度· 非接触測定· 小型で簡単に統合可能
一般的な用途
静電容量センサーの利点
1. 優れた安定性。静電容量センサーの静電容量値は通常、電極材料に依存しないため、極低温システムで材料を選択するのに適しており、発熱が少ないため、安定性への影響はほとんどありません。
2. シンプルな構造。静電容量センサーは構造がシンプルで、高精度を確保しやすく、小型化できます。高温や低温、強磁性、その他の過酷な環境などの特殊な環境で使用できます。3. 優れた動的応答。プレート間の静電引力は非常に小さく、可動部分は非常に小さく薄くできるため、固有周波数が非常に高く、動的応答時間が短く、数メガヘルツの周波数で動作できるため、動的測定に特に適しています。4. 非接触測定。非接触測定を使用すると、作業面の粗さが測定に与える影響を軽減できます。
システム構成
コンデンサマイクロメータは、静電容量プローブ/静電容量センサーとセンシング信号処理制御モジュールの2つの部分で構成されています。
（1）静電容量プローブ/静電容量センサー
コンデンサプローブ（静電容量センサー）は円筒形で、平行板の原理を採用しており、測定対象物とコンデンサプローブ間の距離が変化すると、この距離の変化を対応する許容差の変化に変換できます。
概略図
技術データ
| Model |
C01D10 |
C02D10 |
C05D10 |
Unit |
| Measuring range |
0~100 |
0~200 |
0~500 |
μm |
| Static resolution |
1.25 |
2.5 |
5 |
nm |
| Dynamic resolution（1kHz） |
50 |
100 |
200 |
nm |
| Linearity |
50 |
100 |
200 |
nm |
| Repeatability |
2.5 |
5 |
10 |
nm |
|
Sensor diameter
|
10 |
mm |
| Minimum target diameter |
10 |
mm |
| Sensor cable Length |
1.5 |
m |
| Fix method |
Radial clamping |
|
| Probe Size |
Φ10×18.5 |
mm |
| Mass( incl. cable and connector) |
55 |
g |
注: 1mm の測定範囲はオプションでご利用いただけます。
（2）センシング信号処理制御モジュール
The sensor signal processing control module is specially designed for matching CoreMorrow capacitor sensor, and its main function is to convert the displacement signal of the capacitor sensor into an electrical signal. It is small and compact, which is ideal for a variety of applications such as laboratory and industrial applications.
技術データ
| Controller Model |
E75.CapA1-H |
Unit |
| Channel |
1 |
|
| Static resolution |
0.00125 |
%F.S. |
| Dynamic resolution |
0.05 (2kHz) |
%F.S. |
| Analog signal output speed |
2 |
kHz |
| Absolute error |
±0.2 |
%F.S. |
| Linearity |
0.05 |
%F.S. |
| Repeatability |
0.0025 |
%F.S. |
| Signal temperature stability |
＜0.005 |
%FSO/℃ |
| Long-term stability |
＜0.04 |
%FSO/month |
| Bandwidth |
2 |
KHz（-3dB） |
| Operating temperature |
+10~+50 |
℃ |
| Storage temperature |
-10~+75 |
℃ |
| Environment humidity |
<85 |
% |
| Power supply |
24VDC/±50mA |
V |
| Voltage output range（analog） |
0~10 |
V |
| Sensor output interface |
SMA |
|
| Size（L×W×D） |
105×26×66 |
mm |
| Mass |
0.18 |
kg |
さらに、CoreMorrow にはモジュール式の静電容量センサー信号処理制御モジュール E09.CAP があり、1 ～ 12 チャネルで利用でき、より多くの測定チャネルのさまざまなニーズに応じてカスタマイズすることもできます。
CoreMorrow E09.CAPコンデンサセンサー信号処理モジュールの詳細については、0451-86268790、17051647888（WeChat ID）までお問い合わせください。
