圧電スクリュー レベリング プラットフォーム - N81K8ZT50 は、3 軸レベリング用に特別に設計されています。3 つのリニア アクチュエーション ポイントにより、プラットフォームは θx、θy 偏向、Z 方向のリフトで調整できます。高い位置決め精度、強力な支持力、モーター操作により、より便利です。また、高精度、強力な制御性、高い実用性により、科学研究、レーザー アプリケーション、産業オートメーションなどの分野で広く使用されています。
直径 160 mm のプラットフォーム、3 mm のリニア移動範囲、±1.5°θx、θy 偏向角度、0.3μrad の角度分解能、2 kg の支持力を備えた ZT50N81K8 圧電スクリュー レベリング プラットフォームは、優れた長期安定性を備え、停電時にも設定位置を継続的に維持できます。電源オフ時のセルフ ロック機能も備えています。下の図はプラットフォームを示しています。
特徴
• サブμradの角度分解能
• 電源オフ時のセルフロック
• 電動操作で柔軟性が向上
応用
• 光学
• 研究室システム構築
• 3軸レベリング
• ウェーハレベリング
• 工業
技術データ
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半導体製品のレベリング
N81K8ZT50 圧電スクリュー レベリング プラットフォームは、高精度、大ストローク、多次元動作を備えているため、ウェーハ レベリングなどの半導体分野のレベリングに非常に適しています。
推奨コントローラー
CoreMorrow E53.C4K ピエゾ コントローラは、24VDC 電源で N81K8ZT50 ピエゾ スクリュー レベリング プラットフォームを駆動するために使用できます。4 チャネル バージョンは、デジタル信号でモードを切り替えることで 4 つのピエゾ スクリューを駆動できます。コントローラはネットワーク ポートを介してピエゾ スクリューに接続できるため、サイズが非常に小さく、統合が容易です。
詳細については、CoreMorrow Wechat公式アカウントをフォローするか、0451-86268790、17051647888（Wechat ID）までお電話でお問い合わせください。
