マクロマイクロ複合クロススケール2段駆動精密位置決め技術は、国防、航空宇宙、精密加工、生物科学、精密光学の分野における重要なサポート技術の1つです。科学技術の発展に伴い、精密位置決め技術は位置決めシステムのストロークと精度に対する需要が高まっています。マクロマイクロ複合2段駆動精密位置決め技術は、従来のシングルドライブ位置決め技術では大きなストロークと高精度を実現するのが難しいという技術的問題を克服し、体積、ストローク、応答速度、位置決め精度などの面で大きな利点があります。
CoreMorrowは実用化に基づいて研究開発を行い、技術的な困難を克服し、手動調整マイクロプラットフォームとピエゾナノ位置決めステージを完璧に組み合わせ、位置決めステージのストロークを数十ミリメートルに拡張し、ナノメートルレベルの解像度に到達して、さまざまな大きなストローク、高精度アプリケーションの要件を満たします。
本稿では、マクロマイクロ複合クロススケール2段ピエゾプラットフォームH81A.XYZ20S/Kを紹介します。 1軸あたり4mmのマイクロメータストロークと18μmのピエゾストロークで、3軸の動きを生成できます。外観は次の図のようになります。
ピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームH81A.XYZ20S/Kの一端には、60mm×60mmサイズの移動テーブルがあり、移動テーブル表面には16個のM3荷重取り付け穴があります。プラットフォームは112mm×112mmのベースに固定されており、ベースには8個のφ8mmと3個のφ6.4mm貫通穴があり、ピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームの固定設置を容易にします。
Manual Micrometer Adjustment Combined with Piezo Nano Adjustment
ピエゾ マクロマイクロ複合プラットフォーム H81A.XYZ20S/K は、ストローク 4 mm、1 回転 500 μm の手動マイクロメータによって調整されます。
マクロマイクロ複合プラットフォームの圧電駆動部は圧電セラミックによって駆動され、電圧信号によって制御されます。電圧信号は、CoreMorrow 圧電コントローラによって圧電プラットフォーム内の圧電セラミックに印加され、圧電セラミックによって対応する変位が生成され、その後、柔軟な構造によって移動テーブルに伝達され、移動テーブルはマイクロおよびナノマイクロ変位運動を生成します。
圧電駆動部は、リードとコネクタを介して圧電コントローラと圧電マクロマイクロ複合プラットフォームに接続されています。圧電システムのリード線の両端はコネクタによって接続されています。
補助ピエゾコントローラ
E01.D3シリーズピエゾコントローラは、H81A.XYZ20S / Kピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームの駆動に最適です。閉ループサーボモジュールを備えており、サーボで制御できます。さらに、上位コンピュータソフトウェアで制御することもできます。
技術データ
ピエゾコントローラ E01.D3 によって駆動される H81A.XYZ20S/K ピエゾマクロ/マイクロ複合プラットフォームの基本パラメータは次のとおりです。
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