PiezoNanoMotion

Research, production, and sales of nano-scale precision piezoelectric ceramic positioning products.

E00A02V050F10M パワーアンプ、最大帯域幅10MHz!

パワーアンプは、内部電圧とパワーアンプ回路を備えたアンプで、弱い外部アナログ入力信号やDAやその他の制御信号によって与えられたアナログ信号を増幅して出力することができます。

CoreMorrow E00A02V050F10Mパワーアンプは、出力帯域幅が最大10MHzで、ゲインを調整できます。キーボード操作とタッチ操作が可能です。オプションの信号発生器を使用してホストコンピュータとの通信を実現できます。パラメータをカスタマイズできます。

 

特徴

 

出力帯域幅最大 10MHz

出力電圧最大 50V

ゲイン調整可能、0.05 ステップ

オプションの信号発生器

パラメータはカスタマイズ可能

 

アプリケーション

 

科学研究実験

圧電セラミックの駆動

圧電トランスデューサーの駆動

水晶の駆動

高出力アプリケーション

 

パネルの紹介

 

ロントパネル

No.
機能説明
1
メニュー、アナログ/デジタル制御インターフェース切り替えボタン;
2
Rin、入力抵抗切り替えボタン、1KΩ/2KΩ
3
ルート、出力抵抗スイッチボタン、1Ω/5Ω;
4
出力、出力ボタン、押すと出力を開始します;
5
スケール、倍率調整エンコーダー、押すと1ステップの増分を選択できます、1.0/0.1/0.05;
6
入力、アナログ入力インターフェース;
7
モニター、モニターインターフェース;
8
OUT、出力インターフェース;
9
予約済み:予約済みの機能キー;
10
USB、上位コンピュータ通信インターフェース;
11
タッチスクリーンディスプレイパネル

 

背面パネル

技術データ
Model
E00A02V050F10M
External input channel
2
Signal generator channel
2
Output type
Single output
Bandwidth(-3dB)
DC~10MHz
Max. output voltage
50Vp-p(25Vp)
DC offset
-25V~+25V adjustable
Max. output current
1Ap
Maximum output power/channel
25Wp
Fuse
4A/250V
Voltage gain
x0~5(0.05step)
Output resistance
1Ω/5Ω
Input resistance
1kΩ/2kΩ
Input voltage
5Vpp max
Max. capacitance
1μF
Output voltage error
≤±3%F.S.@1kHz
Voltage monitor
100:1(±5%)
Slew rate
1000V/μs
Total harmonic distortion (THD)
≤0.1%@1kHz,50Vp-p
Output voltage zero drift
≤0.2V
Signal to noise ratio (SNR)
≥80dB
Output interface
4mm Banana jack
Communication mode of upper computer
USB(slave computer to RS-232)
Upper computer control software
VB routine
Secondary development
Availble, provide communication protocol
Protection
Over current protection, over temperature protection
Signal Ground
Connected with the chassis and power cord
Power supply voltage
AC220V±10%,50Hz
Operating temperature
0~45℃
Storage temperature
-20~50℃
Operating humidity
≤80%RH,non-condensing 
Dimensions (width × height × depth)
270×134×510mm

 

 

CoreMorrow パワーアンプ

CoreMorrow はパワーアンプの開発と製造で約 20 年の経験があり、ユーザーのニーズに合わせてカスタム製品を作ることができます。帯域幅、ゲイン、入出力抵抗、形状サイズ、スイープ機能などの機能はすべてカスタマイズ可能です。アンプは CoreMorrow 製品や輸入されたさまざまなタイプのピエゾ製品や容量性負荷を駆動するために使用できます。
モジュラーパワーアンプ
E00/E01シリーズパワーアンプ、帯域幅最大50kHz、出力電圧最大1800V、電圧ゲイン最大180倍。


小型パワーアンプ
E53 シリーズ パワーアンプは、0 ~ 10V のアナログ入力信号を 0 ~ 120V または 0 ~ 150V に増幅する、帯域幅 10kHz のシングル チャネル アナログおよびデジタル コントローラです。


USB パワーアンプ
E63.C シリーズ USB パワーアンプは、ソフトウェアで制御でき、コンピューターに直接挿入して出力電圧のサイズと出力周波数を制御できます。出力電圧は 0 ~ 150V、帯域幅は 1kHz です。

数百チャンネルのパワーアンプ
E82.C256K-J パワーアンプは、256 の出力チャンネルを備え、ネットワークポートを介して上位コンピュータに接続してアンプの出力電圧を制御できます。帯域幅は最大 1.5kHz です。




 

XD505.T0S 大荷重θx、θy ピエゾチップ/チルトステージ

CoreMorrow ピエゾチップ/チルトステージは、圧電セラミックの駆動により正確な角度調整が可能で、戻り誤差のない柔軟なヒンジ平行構造の内部設計により、製品の高い偏向精度と安定性が保証され、θx、θy の傾斜と Z の回転、または直線運動を同時に行うことができ、応答速度が速いです。半導体技術、通信および統合光学、光学機器設備、医療用生体顕微鏡設備、航空宇宙などの高精度位置決めシステムに広く使用されています。
 

CoreMorrow ピエゾチップ/チルトステージ

XD505.T0S は CoreMorrow が設計した大荷重 2 軸チップ/チルト ステージで、θx と θy の 2 軸偏向が可能です。最大荷重容量は 20kg です。負荷をかけた状態で高動的かつ高精度な動作を実行できます。クローズド ループ センサーで構成した場合、解像度は最大 0.01μrad になります。サイズは 140×140×40mm^3、開口部は 60×60mm^2 で、透過光アプリケーションに最適です。外観は以下のとおりです。

特徴

•θx、θy 2軸偏向
•最大荷重20kg
•オプションのオープンループおよびクローズドループバージョン
•開口部サイズ60×60mm^2
 

応用

•透過光アプリケーション
•大荷重アプリケーション
•ビーム偏向/安定化
•レーザービームカプラ
 

技術データ

モデル

XD505.T0S

アクティブ軸

θx、θy

センサー

SGS

公称傾斜角度(0~120V)

0.28mrad/軸

公称傾斜角度(0~150V)

0.35mrad/軸

解決

0.01μrad

無負荷共振周波数

4.6kHz/軸

負荷共振周波数@5kg

θx 0.4kHz/θy 0.32kHz

ステップタイム

50ms

耐荷重

20kg

キャパシタンス

14.4μF

材料

スチール、アルミニウム

質量(ケーブル含む)

2100g

 

推奨コントローラー

E70 ピエゾ コントローラ

E70 ピエゾ コントローラーは、XD505.T0S の駆動に最適です。小型、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップル ノイズを備えた 3 チャンネルのピエゾ セラミック コントローラーで、シリアル ポート、USB、またはネットワーク ポートを介してデジタル通信を実現できます。

 

ピエゾチップ/チルトステージの代表的な用途

1.顕微鏡画像

科学技術の継続的な発展に伴い、物質や生物のミクロの世界に対する人々の探究はますます深くなり、超高解像度の顕微鏡画像技術はますます重要になっています。超高解像度の顕微鏡画像技術は、最先端の光学系と高感度画像機器を使用して高精細な詳細を提示しますが、ピエゾチップ/チルトステージは最も重要なコンポーネントの1つです。サンプルを駆動してθx、θy偏向またはθz回転、またはz上下の水平調整とフォーカスを行うことができ、オプションで完全な閉ループ位置フィードバック用の内蔵精密センサーを使用できます。これは、非常に高いモーションコントロール精度、サブマイクロラジアンまでの偏向解像度、ミリ秒単位の位置決め安定時間を備えており、顕微鏡画像の解像度が大幅に向上します。
 

2.光ビーム走査

チップ/チルトステージまたはミラーは、現代の光学機械システムの重要な部品の 1 つであり、主に高精度光学機械システムのスキャン追跡、光路変調、バフェッティング抑制に使用されます。ピエゾチップ/チルトステージは、高速ビームスキャンを実現し、精度だけでなく高速トラッキングも保証します。レーザー通信プラットフォーム、宇宙望遠鏡、偵察カメラなど、新世代の宇宙光学システムへの応用に非常に適しています。

3.宇宙擾乱シミュレーションシステム

ピエゾチップ/チルトステージは、小さな振動、小さな回転などの宇宙での小さな外乱をシミュレートして、コンポーネントの姿勢と制御システムのパフォーマンスをテストおよび検証できます。ピエゾチップ/チルトステージでコンポーネントをテストすることで、姿勢または光路制御システムの性能を評価し、制御アルゴリズムを最適化し、安定性と精度を向上させて、コンポーネントが宇宙デバイスでタスクを正常に完了できることを保証できます。

詳細は0451-86268790、17051647888(wechat ID)までお問い合わせください。

CoreMorrow 80A14 増幅型ピエゾアクチュエータ

増幅型圧電アクチュエータは、圧電セラミックを積み重ね、屈曲ヒンジ支持構造、増幅構造、シェル構造を組み合わせて設計されており、圧電セラミックの直線変位を拡大し、変位の垂直方向に出力します。マイクロ変位分解能が高く、安定性が強いという特徴があります。直接駆動型圧電アクチュエータと比較すると、同じ条件下では、機械増幅型圧電アクチュエータによって生成される変位は大きく、出力は比較的小さくなります。
 

CoreMorrowが開発・製造した80A14増幅型圧電アクチュエータは、鋼製の外部楕円形機械増幅構造を採用しており、圧電積層セラミックスに最適なプリロードを提供できるだけでなく、内部の圧電積層セラミックスが過度の張力に耐えて損傷するのを防ぐ保護機能も果たします。80A14増幅型圧電アクチュエータの動作範囲は105μm、無負荷共振周波数は1700Hz、反転積載量は最大50kgです。製品は以下の図に示されています。

特徴

 

移動範囲最大 105μm

逆さ荷重最大 50kg

出力 > 1000N

高無負荷共振周波数

ナノスケール解像度

アプリケーション

 

• 光学: プローブスキャン、光学レンズの位置決め、光スイッチ、シャッター/シャッターの安定化、マイクロスキャン、ウェーハテスト、天文学、焦点位置決め、レーザーキャビティチューニング、光ファイバーの結合と変形、FBG (ファイバーブラッググレーティング) の変形、チョッパー、干渉計、PDP 結晶の切断、変調器など。

 

• 力学: ファイバーストレッチ、ツールの位置決め、ピックアンドプレースツール、ダイヤモンド旋削、楕円ピストン加工、減衰、動的制御、新世代の超音波または音波振動、非破壊検査、機器の疲労モニタリングなど。

 

• 流体工学:比例弁、ポンプ、流量測定技術、インクジェット技術、注射器、液滴発生器など

 

技術データ

モデル
80A14
アクティブ軸
Z
ストローク(0~120V)
84μm
ストローク(0~150V)
105μm
オープンループ解像度
4nm
阻止力
>1000N
硬直
13N/μm
キャパシタンス
44μF
耐荷重
50kg(逆さ)
無負荷共振周波数
1700Hz
材料
鋼鉄
ケーブル長
>1.5m

推奨コントローラー

E53.A コントローラは、高速応答時間と動作安定性の両方を保証する 80A14 メカニズム増幅ピエゾ アクチュエータの駆動に最適です。さらに、E53 ピエゾ コントローラは非常にコンパクトな形状で、サイズも小さく、簡単に統合できます。

その他の増幅型ピエゾアクチュエータ

 

小容量増幅アクチュエータ
80Nのブロッキング力、66μmのストローク、2700Hzの無負荷共振周波数
カスタマイズされたタイプA増幅アクチュエータ

100μmストローク、150Nブロッキング力、2000Hz無負荷共振周波数
タイプR小容量増幅アクチュエータ

41μmストローク、125Nブロッキング力、4100Hz無負荷共振周波数
大きなブロッキング力を備えたタイプA増幅アクチュエータ

540Nのブロッキング力、95μmのストローク、350Hzの無負荷共振周波数
大ストローク増幅アクチュエータ

25Nのブロッキング力、400μmのストローク、370Hzの無負荷共振周波数
詳細については、0451-86268790、17051647888(Wechat ID)までお問い合わせください。

CoreMorrow N11.X3.5KZ ミニ真空リニアピエゾモーター

ピエゾモーターは、ピエゾセラミックをモーターとして駆動し、特殊な機械構造設計を使用して、PZTピエゾアクチュエータのマイクロ動作をミリメートルの線形または360°の角度動作に変換します。動作モードに応じて、モーターはリニアピエゾモーターとロータリーピエゾモーターに分けられます。今日の工業およびハイテク分野における高精度自動化制御のニーズでは、ストロークが大きく、高精度で、サイズが小さいなどの利点を備えたピエゾモーターが、半導体技術、光学機器および装置、医療生物顕微鏡装置、精密加工装置、航空宇宙などの分野で広く使用されています。

 

N11.X3.5KZ は真空超小型リニアピエゾモーターで、スティックスリップ原理を採用し、ピエゾセラミックの微細運動をミリメートル単位のストロークに変換します。サイズは 15×15×7mm^3 と小型です。ストロークは 3.6mm と長く、単独でも組み合わせても 1~3 次元移動に使用でき、移動速度は最大 2mm/s です。10^-6mbar と 10^-9mbar の真空バージョンからお選びいただけます。限られたスペースや環境でミリメートル単位の移動調整が必要な用途に最適です。

特徴

• 移動距離 3.6mm
      • 1 軸から 3 軸まで選択可能
      • 小型、軽量
      • 最大速度 2mm/s
      • 静止時に自動ロック

適用#テキヨウ# 

N 11.X 3.5 KZ線形圧電モーターは、超分解能イメージングにおけるサンプル運動、マイクロナノデバイス及び製造、走査電子顕微鏡(SEM)サンプル操作、ナノフォーカス及び走査、能動光学、集積回路製造及び試験、マイクロナノCT、大規模電子ビーム直写(EBL)、高真空サンプルの高精度アラインメント及び同調姿勢などの高精度運動制御システム又は装置に広く応用できる
 

技術データ

モデルとなって着る
N11.X3.5KZ
かどうじく
X
公称ストローク範囲
3.6/±1.8mm
最大速度
2mm/s
オープンループ解像度
20nm
ブロッキング力
0.5N
保持力(パワーオフセルフロック)
1.5N
最大荷重(水平方向)
0.3kg
最大荷重(垂直方向)
0.03kg
軸方向の剛性
1N/μm
横方向の剛性
2N/μm
動作温度
0~50℃
ケーブル長
1.5m
材料
アルミニウム、ステンレス鋼
質量(ケーブル含まず)
6g

ピエゾコントローラ

CoreMorrowが開発・生産したE 53.C 1 K-J圧電制御器はN 11.X 3.5 KZを駆動する良い選択であり、デジタル制御を採用した単一チャネル圧電制御器である。体積はわずか105×103×30.1 mm ^ 3で、構造がコンパクトで、集積しやすい。 

詳細については、0451-86268790、17051647888(マイクロ信号)にお電話ください。CoreMorrowにお問い合わせください。

N56 リニア ピエゾ モーター、1 ~ 6 軸モーション、移動範囲最大 50 mm!

N56リニアピエゾモーターは、ピエゾマイクロドライブ技術を採用しており、ピエゾマイクロ変位アクチュエータを使用して高精度の位置決めと移動技術を実現します。電界下でのピエゾアクチュエータの微小変形を機械構造に変換することで、マクロモーションリニアミリメートルレベルのストロークを実現します。


リニアピエゾモーターの図


N56 ピエゾモーターは、小型、高精度、大ストロークという利点があります。移動範囲は最大 50 mm、速度は最大 3 mm/s、分解能は最大 0.05 μm、電源オフ時のセルフロック機能を備えています。オプションのグレーティングセンサーを閉ループ制御センサーとして使用して、高精度の位置決めを実現できます。モーターには真空環境での使用に適した真空バージョンもあります。同時に、CoreMorrow はさまざまな移動と精度の要件を満たすカスタマイズされたサービスも提供できます。


動きのイメージ

 

特徴

1.オプションの移動範囲は10mm、20mm、30mm、50mm

2.静止時のセルフロック

3.1〜6軸モーションバージョンあり

4.10^-6 または 10^-9mbar 真空バージョンも利用可能

アプリケーション

N56 リニアピエゾモーターは、小荷重、大ストロークのナノポジショニング、科学研究、光ファイバードッキング、マイクロマシニング、原子間力顕微鏡、半導体精密ポジショニング、マイクロおよびナノ操作の分野で幅広く使用できます。

技術データ

モデル N56
アクティブ軸 X
統合センサー 格子センサー
旅行範囲 10~50mm

スピード

3mm/s
オープンループ解像度 0.005μm
クローズドループ解決 <1μm
最大阻止力 3N
閉ループの再現性 0.1μm
押す力(アクティブ) 3N
保持力(受動性) 4.5N
最大荷重(水平方向) 0.5kg
最大荷重(垂直方向) 0.1kg
軸方向の剛性 1.5N/μm
横方向の剛性 9N/μm
動作温度 0~50℃
ケーブル長 1.5m
材料 アル、スチール

 

推奨コントローラー

CoreMorrow が開発、製造した E53.D1E/C1K-J ピエゾ コントローラは、N56 モーターの駆動に適した選択肢であり、デジタル制御を採用したシングル チャネル ピエゾ コントローラです。体積はわずか 105×103×30.1mm^3 と小さく、コンパクトな構造により、統合が非常に簡単です。

詳細については、CoreMorrow(0451-86268790、17051647888(Wechat ID))までお問い合わせください。

P60.X200 光学測定用1軸高精度ナノポジショニングステージ


光学測定は、光の伝播、反射、屈折、干渉、回折などの光の特性を利用して、長さ、形状、角度、色などを正確に測定する非接触測定技術であり、工業、医療、航空宇宙などの分野で広く使用されています。技術の継続的な進歩と革新により、光学測定技術はより高精度でより効率的な方向に発展しています。CoreMorrowナノスケール位置決めステージは、高精度と高速応答速度を備え、光学測定技術においてナノスケールの精密位置決めを提供し、測定結果をより正確にすることができます。

注: 画像はインターネットから引用したものです
 

P60.X200 1軸高精度ナノポジショニングステージ

P60.X200ピエゾナノポジショニングステージは、増幅機構とフレキシブルヒンジを採用して伝達をサポートします。信頼性の高いピエゾセラミックで駆動され、オープンループ状態で200μmのX軸直線運動、2nmの分解能、1.3kgの負荷、30msの無負荷ステップ時間を実現できます。オプションのクローズドループセンサーを構成して高精度のスキャンと位置決めを行うことができます。P60.X200は1軸Xモーションステージで、ステージを組み合わせることで2軸または3軸のモーションを実現できます。ステージを下図に示します。

特徴

X モーション、移動範囲最大 200μm

最大荷重容量 1.3kg

2nm の解像度

オープン/クローズド ループ バージョンと UHV バージョンが利用可能

オプションで 2 軸または 3 軸モーション

 

アプリケーション

光学測定

光学検出

マイクロスキャン

レーザー干渉計

バイオテクノロジー

 

技術データ

モデル

P60.X200S/K

アクティブ軸

X

ドライブコントロール

駆動チャンネル 1 つ、センシングチャンネル 1 つ/駆動チャンネル 1 つ

移動範囲(0~120V)

160μm

移動範囲(0~150V)

200μm

センサー

SGS/-

クローズド/オープンループ解決

7nm/2nm

閉ループ直線性

0.02%F.S./-

閉ループの再現性

0.01%F.S./-

ピッチ/ヨー/ロール

<15μrad

閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間

50ms@20μm、1300g / 30ms

無負荷共振周波数

370Hz

無負荷共振周波数

120Hz

キャパシタンス

10.8μF

動作温度

-20~80℃

耐荷重

1300g

材料

スチール、アルミニウム

質量

630g
 

推奨コントローラー

E53 ピエゾ コントローラは、P60.X200 ピエゾ ナノポジショニング ステージの駆動に最適です。これは、148×27.5×80mm^3 のコンパクトで統合しやすいサイズ、350g の重量、24VDC/1A 電源を備えた、小容量アプリケーション向けに設計されたシングル チャネル コントローラです。冷却エリアがあり、発生した熱をすばやく排出できます。上位のコンピューター ソフトウェアは、二次開発をサポートします。



 
 

Zモーション大荷重圧電ナノポジショニングスキャナ-P70.Z200

P70.Z200圧電スキャナーは、容積が小さく、ストロークが大きく、負荷が大きいZモーションスキャナーです。信頼性の高い圧電セラミックを内蔵し、摩擦のないフレキシブルヒンジガイド機構を駆動するメカニズム増幅原理を採用しています。中央の貫通穴があり、対物レンズまたはサンプルを駆動して、移動範囲が最大200μm、ベアリング負荷が最大500gのナノ精度のZ方向リフト動作を実現します。内蔵センサーはフルブリッジモードを介して接続され、ドリフトがなく、ナノメートル範囲の正確な位置決め、6nmの閉ループ分解能、0.02%F.Sの繰り返し位置決め精度を実現できます。製品は、顕微鏡画像、光学検出、バイオテクノロジー、画像処理などの分野で広く使用されています。
 

小容量センタースルーホール設計

P70.Z200 ピエゾスキャナは非常に小型で、中央の貫通穴は φ10mm です。サイズは下図のとおりです。

簡単な荷物の取り付け

P70.Z200 ピエゾ スキャナーには、中央部に負荷ネジ穴が装備されており、対物レンズやサンプルなどの負荷の取り付けが容易で、最大負荷容量は 500g です。標準負荷はネジ W0.8×1/36 インチに適合し、ネジのサイズはユーザーのさまざまなニーズに応じてカスタマイズできます。
 

クローズドループ高速ステップ

P70.Z200 ピエゾ スキャナーの閉ループ無負荷ステップ時間は 20 ミリ秒で、200g 負荷ではステップ時間が最大 30 ミリ秒になり、応答速度が速くなります。


典型的なアプリケーション

01

ケージ構造に適用

CoreMorrow P70.Z200ピエゾスキャナーには、ケージ構造の取り付け貫通穴が装備されており、ケージ構造に直接統合できます。ロードされた対物レンズと組み合わせて使用​​​​すると、ナノレベルのZ軸直線運動を調整し、対物レンズの焦点を合わせた後、焦点とサンプル間の距離を正確に調整できます。
 

02

マイクロイメージング

高解像度の顕微鏡画像技術にとって、ピエゾスキャナは欠かせない要素です。対物レンズやサンプルを搭載してZ方向のフォーカスやサンプルの位置調整を行うことができ、画像の鮮明度が大幅に向上します。その精度はナノメートルレベルまで達します。また、ピエゾスキャナは電気信号で制御されるため、フォーカス速度が速く、応答速度はサブミリ秒またはミリ秒まで達します。 
 

03

バイオテクノロジー

バイオメディカル技術の急速な発展に伴い、精密位置決め技術もこの分野で広く使用されています。例えば、染色体切断、細胞分離、細胞融合、ナノディスペンシング、マイクロ流体などの位置決め部分には、超高解像度、位置決め精度、耐干渉性を利用して正確に位置決めできるピエゾスキャナを適用できます。
 

Technical Data

モデル
P70.Z200
アクティブ軸
Z
運転チャネル
1チャンネル駆動、1チャンネルセンシング
移動範囲(0~120V)
136μm
移動範囲(-20~150V)
200μm
センサー
SGS
クローズド/オープンループ解像度
6nm/2nm
閉ループ直線性
0.05%F.S.
閉ループの再現性
0.02%F.S.
無負荷共振周波数
500Hz
共振周波数@200g
250Hz
閉ループ/開ループ無負荷ステップ時間
20ms
耐荷重
500g
キャパシタンス
7.2μF
材料
スチール、アルミニウム
質量
240g(6芯ケーブル含む)

推奨コントローラー 

E53.D1S ピエゾ コントローラは、P70.Z200 ピエゾ スキャナの駆動に最適です。小型、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップル ノイズのシングル チャネル ピエゾ セラミック コントローラです。コントローラは特殊なオペアンプ回路を採用し、高電圧と大電流の出力容量を確保し、センシング サーボ モジュールを最適化することで PI 調整と制御の精度と安定性を向上させます。信頼性の高い干渉防止設計により、コントローラの高周波応答速度が保証されます。

詳細はCoreMorrowまでお問い合わせください。電話番号:0451-86268790/17051647888(Wechat ID)