XD106.XYZ60K 超低温真空非磁性ピエゾスキャナ

科学技術の深い研究により、低温真空、高磁場環境でのナノレベルの精密位置決めの応用は、物理学、化学、材料科学の分野でますます応用されており、低温真空非磁性ピエゾモーションステージは、主に高精度、高安定性、高信頼性を特徴とする高精度の精密位置決め装置です。低温、真空、磁場での正確な位置決めを提供でき、半導体処理や検出に広く使用されています。

XD106.XYZ60K

CoreMorrow XD106.XYZ60K ピエゾ スキャナーは、超低温、真空、非磁性環境アプリケーション向けに特別に設計された 3 軸モーション ピエゾ ステージです。低温ピエゾ ドライブを使用して XYZ 3 軸スキャン動作を実行でき、最大 4K の低温耐性があり、サイズはわずか 39mm x 39mm x 35mm と小型です。センター スルー ホール φ10mm で、統合が非常に簡単です。シェルは軽量の低温耐性、非磁性材料で作られ、低温ツイスト ペア ワイヤを使用して、低温環境での使用に適応します。

特徴

· 4K 低温、真空、非磁性、4K までの低温耐性

· XYZ モーション

· 移動範囲最大 30μm/軸 @4K

· 解像度最大 2nm

· オープン ループ モーション コントロール

· 高速応答速度

アプリケーション

· 半導体加工工

· 半導体検査

· 高精度テストおよび操作

· ナノモーション制御の磁気要件のないその他の真空

技術データ

モデル	XD106.XYZ60K
アクティブ軸	X Y Z
駆動電圧	0~60V@室温 0~150V@4K
定格移動量（室温）	70μm/軸 @0~60V、室温
公称移動距離（極低温）	30μm/軸 @0~150V、4K
開口部直径	10mm
解決	2nm
無負荷共振周波数	X415/Y465/Z497Hz
負荷共振周波数 @200g	XY105/Z229Hz
静電容量	XY5.4μF，Z10.9μF
材料	Ti
耐荷重	200g
質量	220g
操作方向	逆さまに

推奨コントローラー

CoreMorrow は、モジュラー コントローラー、小型コントローラー、高出力コントローラー、産業用コントローラー、統合コントローラーなど、さまざまなピエゾ コントローラーを設計および製造しています。さまざまなアプリケーション シナリオに応じて、適切なピエゾ コントローラーを選択できます。

E00/E01 ピエゾコントローラ

E00/E01 ピエゾ コントローラーはモジュラー コントローラーで、サーボ モジュールまたはコンピューター通信モジュールを選択できます。XD106.XYZ60K 3 軸ピエゾ スキャナーを駆動するには、E01.A3 または E01.C3 を選択してください。後者には上位コンピューター通信機能が追加されています。

E70.C3 ピエゾコントローラ

E70 ピエゾ コントローラーは統合型ピエゾ コントローラーで、コンパクトなサイズで、3 つの出力チャネルを備え、コンピューター通信制御やアナログ制御に使用でき、XD106.XYZ60K 3 軸ピエゾ スキャナーの駆動に非常に適しています。

詳細については、0451-86268790 または 17051647888 (Wechat ID) までお電話ください。