S51 ピエゾチップ/チルトステージをウェハ姿勢の調整に適用

ウェーハ姿勢調整は、ウェーハ上のさまざまなプロセス操作を満たすために、さまざまな寸法の精密位置決めを通じてウェーハを正しい位置に調整することであり、ウェーハ処理、ウェーハ検査、リソグラフィー技術で広く使用されており、アプリケーションで重要な役割を果たし、チップの製造品質と性能にも直接影響します。ウェーハの直径が大きいほど、より多くの半導体チップを搭載でき、製造コストが低くなります。そのため、半導体ウェーハ姿勢調整関連のアプリケーションでは、大型多次元および大荷重の圧電モーションプラットフォームの需要が日々高まっています。

S51 大型開口部付きピエゾチップ/チルトステージ

S51.ZT0S/K-B1 は、θx、θy、Z の 3 軸モーションを備えたピエゾ チップ/チルト ステージです。全体のサイズは 300×300×45.5mm^3 で、中央に大きな開口部があります。閉ループ精度が高く、応答速度が速く、姿勢調整のために大きなウェーハを搭載できます。光開口部は 200×200mm^2 で、透過光アプリケーションにも適しています。製品を以下に示します。

 

特徴

θx θy 傾斜および Z モーション

高精度のためのクローズドループ バージョン

高速応答

UHV バージョンも利用可能

アプリケーション

走査型顕微鏡

レーザー ビームの組み合わせ

干渉/計測

空間擾乱シミュレーション システム

バイオテクノロジー

マスクとウェーハの位置

技術データ

推奨コントローラー

E70 ピエゾ コントローラー

E70 は、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップル ノイズを備えた小型の 3 チャンネル ピエゾ コントローラーです。最適化されたセンシング サーボ モジュールにより、PI 調整と制御の精度と安定性が向上し、シリアル ポート、USB、またはネットワーク ポートを介してデジタル通信できます。一方、上位のコンピューター ソフトウェアは二次開発をサポートしており、便利で高速です。

E80型。D3S-O ピエゾ コントローラ

E80型。D3S-O ピエゾ コントローラは、主にピエゾ チップ/チルト ステージを駆動するように設計されており、3 つの出力チャネルがあります。そのうち 3 番目は定電圧出力で、差動駆動に適しています。2 つの形式があり、パッケージまたはボード カセットのいずれかを選択できます。