CoreMorrowピエゾスクリューは、ストローク全体で20nm以上の分解能で最大26mmまで移動できます。定格荷重は25Nで、コンパクトな設計で、オプションで真空バージョンと閉ループバージョンがあり、長期安定性に優れ、電源を切っても設定位置を維持します。位置決めスライドやミラーマウントと組み合わせて使用することで、ストロークが大きく、高精度で安定性に優れた直線または角度移動を行うことができます。ピエゾスクリューモーションプラットフォームは、リニアモーターピエゾスクリューと位置決めスライドを組み合わせたもので、ピエゾスクリューの高精度モーションを使用して位置決めスライドの動きを制御し、安定性と精度が高く、ナノメートルレベルの精密位置決めを実現します。
N91.XYZTR4K ピエゾスクリューモーションプラットフォームは、複数のピエゾスクリューと高精度アルゴリズムを制御することで、X、Y、Z、θx、θy、θz 6軸モーションを実現し、6軸の高精度モーションコントロールを完成させます。電子制御操作はより便利で、リモート操作を実現できます。3mm/軸の直線運動と±2°/軸の偏向の変位を実現できます。薄くて統合しやすいです。製品を次の図に示します。
特徴
アクティブ軸: X、Y、Z、θx、θy、θz
直線ストローク: 3mm/軸
偏向ストローク: ±2°/軸
耐荷重: 1.2kg
静止時にセルフロック
クローズドループ バージョン、真空バージョンあり
アプリケーション
半導体テスト
ウェーハ検査
ナノインプリント
ナノメトリクス
工業用精密位置決め
技術データ
モデル |
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アクティブ軸 |
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XYZ移動範囲 |
3mm/軸 |
θxθyθz偏向角 |
±2°/軸 |
線形解像度 |
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偏向解像度 |
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動作温度 |
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材料 |
スチール、アルミニウム |
耐荷重(水平取付) |
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質量 |
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ケーブル長 |
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推奨コントローラー
E53.C4K-H ピエゾ コントローラは、ピエゾ スクリューの駆動用に特別に設計されており、N91.XYZTR4K ピエゾ スクリュー モーション プラットフォームの駆動に最適です。上位コンピュータ ソフトウェア制御によって 4 つのピエゾ スクリューを駆動するための 4 つの出力チャネルがあり、ネットワーク ポートを介してピエゾ スクリューに接続されます。コンパクトな構造で、統合が非常に簡単です。
詳細については、CoreMorrow(0451-86268790、17051647888(Wechat ID))までお問い合わせください。