PiezoNanoMotion

Research, production, and sales of nano-scale precision piezoelectric ceramic positioning products.

N91.XYZTR4K 6軸ピエゾスクリューモーションプラットフォーム

CoreMorrowピエゾスクリューは、ストローク全体で20nm以上の分解能で最大26mmまで移動できます。定格荷重は25Nで、コンパクトな設計で、オプションで真空バージョンと閉ループバージョンがあり、長期安定性に優れ、電源を切っても設定位置を維持します。位置決めスライドやミラーマウントと組み合わせて使用​​することで、ストロークが大きく、高精度で安定性に優れた直線または角度移動を行うことができます。ピエゾスクリューモーションプラットフォームは、リニアモーターピエゾスクリューと位置決めスライドを組み合わせたもので、ピエゾスクリューの高精度モーションを使用して位置決めスライドの動きを制御し、安定性と精度が高く、ナノメートルレベルの精密位置決めを実現します。

 

 

N91.XYZTR4K ピエゾスクリューモーションプラットフォームは、複数のピエゾスクリューと高精度アルゴリズムを制御することで、X、Y、Z、θx、θy、θz 6軸モーションを実現し、6軸の高精度モーションコントロールを完成させます。電子制御操作はより便利で、リモート操作を実現できます。3mm/軸の直線運動と±2°/軸の偏向の変位を実現できます。薄くて統合しやすいです。製品を次の図に示します。

特徴

アクティブ軸: X、Y、Z、θx、θy、θz

直線ストローク: 3mm/軸

偏向ストローク: ±2°/軸

耐荷重: 1.2kg

静止時にセルフロック

クローズドループ バージョン、真空バージョンあり

 

アプリケーション

半導体テスト

ウェーハ検査

ナノインプリント

ナノメトリクス

工業用精密位置決め

 

技術データ

モデル

N91.XYZTR4K

アクティブ軸

X、Y、Z、θx、θy、θz

XYZ移動範囲

3mm/軸

θxθyθz偏向角

±2°/軸

線形解像度

<30nm

偏向解像度

0.2μrad

動作温度

0~40℃

材料

スチール、アルミニウム

耐荷重(水平取付)

1.2kg

質量

1.7kg

ケーブル長

1.5mm
 

推奨コントローラー

E53.C4K-H ピエゾ コントローラは、ピエゾ スクリューの駆動用に特別に設計されており、N91.XYZTR4K ピエゾ スクリュー モーション プラットフォームの駆動に最適です。上位コンピュータ ソフトウェア制御によって 4 つのピエゾ スクリューを駆動するための 4 つの出力チャネルがあり、ネットワーク ポートを介してピエゾ スクリューに接続されます。コンパクトな構造で、統合が非常に簡単です。

詳細については、CoreMorrow(0451-86268790、17051647888(Wechat ID))までお問い合わせください。



 

S55T0S / K150 2軸ピエゾチップ/チルトステージ、耐荷重10kg!

宇宙環境の乱れは、衛星の異常/故障の主な原因の 1 つです。衛星エンジニアは、宇宙環境の影響とそれが衛星に与える影響を理解し、衛星の異常/故障と宇宙環境の乱れの相関関係を分析および研究し、宇宙環境エンジニアリング設計の規範的な手順を衛星エンジニアリング設計の技術プロセスと計画プロセスに組み込む必要があります。CoreMorrow は、2 軸宇宙環境乱れシミュレーション システムを設計し、2D 宇宙振動をシミュレートしました。

 

衛星の振動の主な原因には、地球の質量の不均一な分布、太陽、月、その他の星の重力、大気の抵抗、太陽放射圧、熱効果、調和励起などがあります。

地球の質量の不均一な分布: 地球は完全な球体ではなく、わずかに楕円形です。質量の不均一な分布により、地球やその他の高所の周囲の重力が一定に保たれず、理想的な軌道にある衛星が揺れます。

太陽、月、その他の星の引力: 他の天体の引力も衛星の軌道に影響を与え、衛星を振動させます。 ‌

大気抵抗: 衛星が移動する空間の空気の密度は非常に低いですが、衛星は非常に高速で移動しているため、特に低軌道衛星では大気抵抗が衛星にいくらか影響を及ぼします。‌

太陽放射圧: 衛星に対する太陽光の放射圧も、特に地球に近い軌道では衛星の軌道に影響を及ぼします。

熱効果: 宇宙船が影の領域から太陽光に入ると、太陽放射熱の流れが急激に増加し、不要な振動、つまり熱振動効果が発生します。‌

調和励起: 宇宙船は特定の条件下で調和励起を受ける可能性があり、振動が発生します。

これらの要因が相まって、衛星の実際の軌道がケプラーの法則によって決定される理想的な軌道から外れ、振動現象が発生します。

 

 

S55.T0S/K150 2軸ピエゾチップ/チルトステージは、CoreMorrowが設計した新製品で、宇宙擾乱実験のシミュレーションに最適です。角度最大±0.16mrad/軸、分解能最大0.1μradのθx、θy 2軸チルトを実現できます。水平マウント/垂直マウント/反転マウントの耐荷重は10kg/8kg/8kgで、大荷重アプリケーションに適しています。口径は150mmで、スキャン光学系などの荷重のある大口径レンズの光路調整にも使用できます。製品を次の図に示します。

 

特徴

θx、θy 偏向

傾斜角度は最大 ±0.16mrad/軸

水平取り付け、垂直取り付け、または逆取り付けのオプション

水平取り付け荷重は最大 10kg

φ150mm 開口部

真空バージョンも利用可能

 

応用

模擬宇宙擾乱実験

ビームスキャン

大きな荷重たわみ運動

干渉/計測

 

技術データ

モデル

 

S- クローズドループ

K- オープンループ

S55.T0S/K150

アクティブ軸

θx,θy

運転制御

3つの駆動チャンネル、2つの

センシングチャンネル

傾斜角度(0~120V)

±0.13mrad/axis(≈±27sec.)

傾斜角度(0~120V)

±0.16mrad/axis(≈±33sec.)

センサー

SGS/-

絞り

150mm

クローズドループ/オープンループの解決

0.25μrad(≈0.05sec)/0.1μrad(≈0.02sec)

閉ループ直線性

1.8μrad/4.7μrad

閉ループの再現性

2.1μrad/1.8μrad

無負荷共振周波数

θx1.0kHz/θy1.1kHz

共振周波数@10kg

θx0.24kHz/θy0.47kHz

無負荷ステップ時間

100ms@10kg/66ms

耐荷重

水平

10kg

垂直

8kg

反転

8kg

電気容量

32μF/axis

材料

スチール、アルミニウム

質量

9.8(ケーブル含む)

 

推奨コントローラー

E70 ピエゾ コントローラ

E70は、高出力、低消費電力、高帯域幅、低リップルノイズを備えた小型3チャンネルピエゾコントローラーです。最適化されたセンシングサーボモジュールにより、PI調整と制御の精度と安定性が向上し、シリアルポート、USB、またはネットワークポートを介してデジタル通信できます。同時に、上位コンピューターソフトウェアは二次開発をサポートしており、便利で迅速です。

E80.D3S-O ピエゾコントローラ

E80.D3S-O ピエゾ コントローラは、主にピエゾ チップ/チルト ステージを駆動するように設計されており、3 つの出力チャネルがあります。そのうち 3 番目は定電圧出力で、差動駆動に適しています。2 つの形式があり、パッケージまたはボード カセットのいずれかを選択できます。

 

H81A. XYZ20S/K 3軸ピエゾマクロマイクロ複合ステージ

マクロマイクロ複合クロススケール2段駆動精密位置決め技術は、国防、航空宇宙、精密加工、生物科学、精密光学の分野における重要なサポート技術の1つです。科学技術の発展に伴い、精密位置決め技術は位置決めシステムのストロークと精度に対する需要が高まっています。マクロマイクロ複合2段駆動精密位置決め技術は、従来のシングルドライブ位置決め技術では大きなストロークと高精度を実現するのが難しいという技術的問題を克服し、体積、ストローク、応答速度、位置決め精度などの面で大きな利点があります。

 

CoreMorrowは実用化に基づいて研究開発を行い、技術的な困難を克服し、手動調整マイクロプラットフォームとピエゾナノ位置決めステージを完璧に組み合わせ、位置決めステージのストロークを数十ミリメートルに拡張し、ナノメートルレベルの解像度に到達して、さまざまな大きなストローク、高精度アプリケーションの要件を満たします。

 

本稿では、マクロマイクロ複合クロススケール2段ピエゾプラットフォームH81A.XYZ20S/Kを紹介します。 1軸あたり4mmのマイクロメータストロークと18μmのピエゾストロークで、3軸の動きを生成できます。外観は次の図のようになります。

 

 

ピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームH81A.XYZ20S/Kの一端には、60mm×60mmサイズの移動テーブルがあり、移動テーブル表面には16個のM3荷重取り付け穴があります。プラットフォームは112mm×112mmのベースに固定されており、ベースには8個のφ8mmと3個のφ6.4mm貫通穴があり、ピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームの固定設置を容易にします。

 

Manual Micrometer Adjustment Combined with Piezo Nano Adjustment

ピエゾ マクロマイクロ複合プラットフォーム H81A.XYZ20S/K は、ストローク 4 mm、1 回転 500 μm の手動マイクロメータによって調整されます。

 

マクロマイクロ複合プラットフォームの圧電駆動部は圧電セラミックによって駆動され、電圧信号によって制御されます。電圧信号は、CoreMorrow 圧電コントローラによって圧電プラットフォーム内の圧電セラミックに印加され、圧電セラミックによって対応する変位が生成され、その後、柔軟な構造によって移動テーブルに伝達され、移動テーブルはマイクロおよびナノマイクロ変位運動を生成します。

 

圧電駆動部は、リードとコネクタを介して圧電コントローラと圧電マクロマイクロ複合プラットフォームに接続されています。圧電システムのリード線の両端はコネクタによって接続されています。

 

 

補助ピエゾコントローラ

E01.D3シリーズピエゾコントローラは、H81A.XYZ20S / Kピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームの駆動に最適です。閉ループサーボモジュールを備えており、サーボで制御できます。さらに、上位コンピュータソフトウェアで制御することもできます。

 

 

E70シリーズ3チャンネルピエゾコントローラは、小容量のピエゾコントローラで、H81A.XYZ20S / Kピエゾマクロマイクロ複合プラットフォームの駆動にも適しています。また、閉ループサーボ機能とホストコンピュータ通信機能を備えており、サーボとホストコンピュータのソフトウェアで制御できます。

 

 

技術データ

ピエゾコントローラ E01.D3 によって駆動される H81A.XYZ20S/K ピエゾマクロ/マイクロ複合プラットフォームの基本パラメータは次のとおりです。

 

モデル
H81.XYZ20S/K
アクティブ軸
X Y Z
マクロ部品 - マイクロメーター
粗調整範囲
4mm
微調整の精度
500μm/turn
マイクロ部品 - 圧電
移動範囲(0~150V)
18μm
センサー
SGS
クローズド/オープンループ解決
1/0.2nm
閉ループ直線性
0.3%F.S.
閉ループの再現性
0.2%F.S.
耐荷重
1kg
電気容量
1.8μF/axis
材料
スチール、アルミニウム
質量
1kg
ドライブとコントロール
3チャンネル駆動、3センサー

詳細は0451-86268790、17051647888(wechat ID)までお問い合わせください。

 

 

 

新しい超小型プリロードピエゾアクチュエータ

       プリロードピエゾアクチュエータは、ピエゾ効果を利用して変位を生成するデバイスです。ピエゾセラミック材料、金属電極、パッケージング材料で構成されています。ピエゾセラミック材料は電界の作用で変形し、変位を引き起こします。金属電極は電界を印加してピエゾセラミックの変形を制御するために使用されます。パッケージング材料は、ピエゾセラミックと金属電極を保護するとともに、デバイスの機械的強度と保護性能を向上させるために使用されます。

      プリロードピエゾアクチュエータは、応答速度が速く、精度が高く、消費電力が少なく、寿命が長いという利点があり、精密機器、自動制御、医療機器、航空宇宙などの分野で広く使用されています。

      CoreMorrowには、マイクロおよびナノモーション制御に逆ピエゾ効果を使用するプリロードピエゾアクチュエータが数百種類あり、外径サイズは9mmから45mmまでで、ブロッキング力も最大50kN以上になります。これらのピエゾアクチュエータは、ねじ式、フラット式、またはボール式接続で利用できます。

 
 
本稿で紹介するプリロードされたピエゾアクチュエータは従来のピエゾアクチュエータとは異なり、機械的なインターフェースがなく、寸法が非常に小さいため、VS6 と名付けました。
 
VS6の外径はわずか6mm、高さは10~40mmまで自由に選択でき、出力は最大200N以上、ストロークは0.8~50μmまで任意に選択できます。
 
 

基本技術データ

モデル: VS6
ストローク: 0.8~50μm オプション
ブロッキング力: >200N
無負荷共振周波数: >40Hz
剛性: >10N/μm
静電容量:<1μF
 
 

利点

VS6 小型ピエゾアクチュエータには、次のような多くの利点があります。
·高速応答: ピエゾアクチュエータは非常に高速に応答し、マイクロ秒単位で動作を完了できるため、高速応答を必要とするアプリケーションに適しています。
·高精度: ピエゾアクチュエータの動作精度は非常に高く、サブミクロンレベルまで達するため、高精度の制御を必要とするアプリケーションに適しています。
·高信頼性: ピエゾアクチュエータには機械的な接触がないため、信頼性が高く、長寿命です。
·低消費電力: ピエゾアクチュエータは消費電力が非常に低く、低消費電力を必要とするアプリケーションに適しています。
·小型化: ピエゾアクチュエータは非常に小型で、高密度統合を実現できるため、小型化設計を必要とするアプリケーションに適しています。
·電磁干渉なし: ピエゾアクチュエータには電磁干渉がないため、電磁干渉を必要としないアプリケーションに適しています。
 

アプリケーション

VS6シリーズの小型ピエゾアクチュエータは、電界に印加されると内部のピエゾセラミックに小さな変形を引き起こし、機械的な微小振動をもたらします。この微小運動は、TDLASガス検出など多くの用途に使用されています。VS6シリーズの小型ピエゾアクチュエータは、レーザー光路内の光路長を調整するために使用でき、レーザー周波数の調整を実現します。TDLAS(波長可変ダイオードレーザー吸収分光法)検出では、正確な検出結果を得るために、レーザーの周波数を検出対象物質の吸収ピークに正確に調整する必要があります。したがって、小型ピエゾアクチュエータを使用してレーザーの周波数を調整し、検出対象物質を正確に検出することができます。さらに、小型ピエゾアクチュエータを使用してレーザーのパワーを調整し、さまざまな検出ニーズに適応することもできます。

VS6 超小型プリロード ピエゾ アクチュエータは、ミクロン レベルでの動きを生み出し、マイクロおよびナノ分野で次のような幅広い用途があります。

·マイクロメカニカル システム (MEMS):プリロード ピエゾ セラミック アクチュエータは、マイクロバイブレーター、マイクロポンプ、マイクロバルブなどのマイクロメカニカル システムのアクチュエータやセンサーの製造に使用できます。

·光学:プリロード ピエゾ セラミック アクチュエータは、光変調器や光スイッチの製造に使用でき、光通信、光ストレージ、光イメージングなどの分野で使用できます。

·医療:プリロード ピエゾ セラミック アクチュエータは、低侵襲手術や精密医療などの分野で使用できるマイクロ薬物送達システムやマイクロ手術器具の製造に使用できます。

·航空宇宙:プリロード ピエゾ セラミック アクチュエータは、航空宇宙分野のナビゲーションおよび制御システムに使用できるマイクロスラスタやマイクロジャイロスコープの製造に使用できます。

·スマート材料:パッケージ化されたピエゾセラミックアクチュエータは、スマートガラスやスマートコーティングなどのスマート材料の作成に使用できます。これらの材料は、外部環境の変化に応じて光学的、電気的、熱的特性を自動的に調整できます。

 

小型パッケージのピエゾアクチュエータの詳細については、0451-86268790、17051647888(WeChat ID)までお問い合わせください。

 



N18.Z5K 小容量リニアモーター Zモーション!

N18.Z5K ピエゾモーターはスティックスリップ原理を採用し、特殊な構造によりピエゾセラミックの微小変形を出力して高精度の位置決めを実現します。N18.Z5K は、移動範囲 5mm、分解能 6nm、速度 3mm/s の Z モーションピエゾモータープラットフォームで、真空、低温、非磁性のアプリケーション環境で使用できます。そのモーション面は Z 軸モーションを行い、シールドなしでサンプルを運びます。サイズはわずか 24×24×20mm^3 と小さく、スペースが限られたアプリケーション向けに設計されています。製品を次の図に示します。

 

特徴

Z 軸動作

移動範囲最大 5mm

解像度最大 6nm

耐荷重最大 0.15kg

最大速度 3mm/s

真空、低温、磁気環境なし

 

用途

超解像イメージングサンプル移動

光ファイバードッキング

ナノフォーカスおよびスキャン

原子間力顕微鏡

半導体精密位置決め

マイクロおよびナノ機器および製造

 

技術データ

 

モデル

N18.Z5K

アクティブ軸

Z

公称移動範囲

5mm

最高速度

3mm/s

解決

6nm

押す力/引く力

3N

保持力(静止時にセルフロック)

5N

最大荷重(水平取り付け)

0.15kg

最高速度(水平設置)

3mm/s@150g

最大荷重(垂直取り付け)

0.1kg

最大速度(垂直取り付け)

2mm/s@100g

動作温度

0~50°C

ケーブル長

1.5 米

材料

チタン

質量

40 克

 

推奨コントローラー

CoreMorrow E53.C1K-J ピエゾ コントローラーは、N18.Z5K ピエゾ モーターの駆動に最適です。これは、デジタル制御、24VDC 電源を採用したシングル チャネル オープン ループ ピエゾ コントローラーであり、静的消費電力は 5W 未満で、通信インターフェイスは TYPE-C、RS-422、RS-232 であり、操作が非常に簡単です。105×103×30.1mm^3 のコンパクトな構造で、統合が非常に簡単です。

 

 

詳細については、CoreMorrow(0451-86268790、17051647888(Wechat ID))までお問い合わせください。

P76F 大型荷重ピエゾ対物レンズスキャナ(ホルダー付き)複数スレッドプロファイル用

CoreMorrow ピエゾ対物スキャナーは、製品の性能に応じて、高ダイナミック、大ストローク、大荷重の 3 つのタイプに分けられます。高ダイナミック ピエゾ対物スキャナーは、共振周波数が最大数 kHz の動的操作アプリケーションに適しており、大ストローク モデルは、移動範囲が最大 1 mm の内部アンプ設計を採用しています。大荷重モデルは、最大荷重が 0.9 kg までの産業用アプリケーションに適しています。CoreMorrow は、さまざまなシナリオでのお客様のアプリケーションを満たすために、お客様のニーズに応じたカスタム サービスも提供しています。
P76Fは、フレキシブルヒンジ機構を備えた大荷重ピエゾ対物スキャナです。摩擦がなく、直線性が良く、閉ループ位置決め精度が高いです。上部に四角いホルダーが取り付けられており、2つの異なる開口部を通して固定できるため、設置がより便利です。P76F Zモーションピエゾ対物スキャナの移動範囲は最大90μm、荷重は最大900gで、ウェーハレーザーステルスダイシングや半導体検査装置などの高荷重アプリケーションに適しています。対物レンズにリンクされたアダプタは、さまざまなねじプロファイルに対応でき、顧客のアプリケーションや作業環境に応じてカスタマイズすることもできます。製品は次の図のとおりです。
 

特徴

変位 90 μm

最大荷重 900g

応答時間 1000 ミリ秒

レンズ ホルダーは複数のスレッド プロファイルに対応

 

応用

3D イメージング

干渉/計測

オートフォーカス システム

共焦点顕微鏡

ウェーハ ダイシング

半導体テスト

技術データ

モデル
P76F.Z80S/K60-C
アクティブ軸
Z
ドライブとコントロール
1 駆動チャネル、1 センシング チャネル/1 駆動チャネル
移動範囲(0~120V)
72μm
移動範囲(0~150V)
90μm
統合センサー
SGS/-
クローズド/オープンループ解像度
3nm/1nm
閉ループ直線性
0.2%F.S./-
閉ループの再現性
0.03%F.S./-
ピッチ/ヨー/ロール
<20μrad
無負荷共振周波数
750Hz
共振周波数 @900g
280Hz
ステップタイム
10ms@900g/3ms
耐荷重
0.9kg
キャパシタンス
14.4μF
材料
アル、スチール
質量
1740g
 

推奨コントローラー

E53 ピエゾ コントローラーは、P76F ピエゾ対物スキャナーの駆動に適しています。E53 は、24VDC/1A 電源、アナログおよびデジタル制御、オプションのオープン ループとクローズド ループを使用して、小容量アプリケーション要件向けに設計されたシングル チャネル コントローラーです。サイズは 148×27.5×80mm^3 とコンパクトで、重量は 240g~350g と、統合が容易です。本体に冷却エリアがあり、発生した熱をすばやく排出できます。上位のコンピューター ソフトウェアは二次開発をサポートしています。機能ごとに 4 つのバージョンがありますので、次の図を参照してください。
詳細はCoreMorrowまでお問い合わせください。電話番号は0451-86268790、17051647888(Wechat ID)です!

CoreMorrow コンパクト リニア ピエゾ モーター、移動範囲最大 21mm


CoreMorrow リニア ピエゾ モーターはスティック スリップ原理を採用し、ミリメートルの移動ストロークとナノメートルの位置決め精度を実現します。小型、大ストローク、高精度、高速位置決めという利点があります。内部に閉ループ サーボ センサーがあり、正確な位置決めを実現します。 。

N55 ピエゾ モーターは、移動範囲 21 mm、速度 5 mm/s、分解能 5 nm、荷重 0.5 kg、重量 21 g の小型ピエゾ モーターの新製品です。静止時のセルフロック機能と、全体サイズ 32 のコンパクトな構造を備えています。 ×17×10mm^3、非常に組み込みやすい製品です。

 

特徴

 

 

大ストローク、高分解能

簡単に統合できる小型サイズ

オプションの XY、XYZ バージョン

静止時は自動ロック

開ループバージョンと閉ループバージョンが利用可能

オプションの真空バージョン

 

 応用  

 

 

小さな荷重、大きなストロークのナノポジショニング

科学研究

光ファイバードッキング

微細加工

原子間力顕微鏡

半導体の精密位置決めとマイクロおよびナノ操作

技術データ

モデル

N55.X20E/K32

アクティブ軸

X

統合センサー

グレーティングセンサー/-

公称移動範囲

21mm or ±10.5mm

最高速度

5mm/s

解決

5nm

最大ブロッキング力

2N

保持力(静止時セルフロック)

3.5N

最大荷重(水平取付時)

0.5kg

最大荷重(垂直取付時)

0.1kg

動作温度

0~50℃

ケーブル長

2m

材料

アル、スチール

質量

21g
 

推奨コントローラー

CoreMorrow E53.D1E/C1K-J ピエゾ コントローラは、N55 シリーズ ピエゾ モータの駆動に非常に適しています。デジタル制御、24VDC 電源、静的消費電力が 5W 未満を採用したシングル チャネル ピエゾ コントローラです。操作が非常に簡単なTYPE-C、RS-422、RS-232。105×103×30.1mm^3のコンパクトな構造で、組み込みが非常に簡単です。

 

小型汎用品 - N56